ಸಾರಜನಕ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ (NF3) ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅನಿಲ
ಮೂಲ ಮಾಹಿತಿ
CAS | 7783-54-2 |
EC | 232-007-1 |
UN | 2451 |
ಈ ವಸ್ತು ಯಾವುದು?
ನೈಟ್ರೋಜನ್ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ (NF3) ಕೋಣೆಯ ಉಷ್ಣಾಂಶ ಮತ್ತು ವಾತಾವರಣದ ಒತ್ತಡದಲ್ಲಿ ಬಣ್ಣರಹಿತ ಮತ್ತು ವಾಸನೆಯಿಲ್ಲದ ಅನಿಲವಾಗಿದೆ. ಮಧ್ಯಮ ಒತ್ತಡದಲ್ಲಿ ಇದನ್ನು ದ್ರವೀಕರಿಸಬಹುದು. NF3 ಸಾಮಾನ್ಯ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರವಾಗಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸುಲಭವಾಗಿ ಕೊಳೆಯುವುದಿಲ್ಲ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನಕ್ಕೆ ಒಡ್ಡಿಕೊಂಡಾಗ ಅಥವಾ ಕೆಲವು ವೇಗವರ್ಧಕಗಳ ಉಪಸ್ಥಿತಿಯಲ್ಲಿ ಇದು ಕೊಳೆಯಬಹುದು. ವಾತಾವರಣಕ್ಕೆ ಬಿಡುಗಡೆಯಾದಾಗ NF3 ಹೆಚ್ಚಿನ ಜಾಗತಿಕ ತಾಪಮಾನದ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು (GWP) ಹೊಂದಿದೆ.
ಈ ವಸ್ತುವನ್ನು ಎಲ್ಲಿ ಬಳಸಬೇಕು?
ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಏಜೆಂಟ್: ಅರೆವಾಹಕಗಳು, ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಡಿಸ್ಪ್ಲೇ ಪ್ಯಾನಲ್ಗಳು (PDP ಗಳು) ಮತ್ತು ಇತರ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಘಟಕಗಳ ಮೇಲ್ಮೈಗಳಿಂದ ಆಕ್ಸೈಡ್ಗಳಂತಹ ಉಳಿದಿರುವ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು NF3 ಅನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸುವ ಏಜೆಂಟ್ ಆಗಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಇದು ಈ ಮೇಲ್ಮೈಗಳನ್ನು ಹಾನಿಯಾಗದಂತೆ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಬಹುದು.
ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಅನಿಲ ಎಚ್ಚಣೆ: ಅರೆವಾಹಕಗಳ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ NF3 ಅನ್ನು ಎಚ್ಚಣೆ ಅನಿಲವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸಿಲಿಕಾನ್ ಡೈಆಕ್ಸೈಡ್ (SiO2) ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ನೈಟ್ರೈಡ್ (Si3N4) ಗಳನ್ನು ಎಚ್ಚಣೆ ಮಾಡುವಲ್ಲಿ ಇದು ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿದೆ, ಇವು ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ಗಳ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ಸಾಮಾನ್ಯ ವಸ್ತುಗಳಾಗಿವೆ.
ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಫ್ಲೋರಿನ್ ಸಂಯುಕ್ತಗಳ ಉತ್ಪಾದನೆ: NF3 ವಿವಿಧ ಫ್ಲೋರಿನ್-ಒಳಗೊಂಡಿರುವ ಸಂಯುಕ್ತಗಳ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಫ್ಲೋರಿನ್ನ ಅಮೂಲ್ಯ ಮೂಲವಾಗಿದೆ. ಇದನ್ನು ಫ್ಲೋರೋಪಾಲಿಮರ್ಗಳು, ಫ್ಲೋರೋಕಾರ್ಬನ್ಗಳು ಮತ್ತು ವಿಶೇಷ ರಾಸಾಯನಿಕಗಳ ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿ ಪೂರ್ವಗಾಮಿಯಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಫ್ಲಾಟ್ ಪ್ಯಾನೆಲ್ ಡಿಸ್ಪ್ಲೇ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಉತ್ಪಾದನೆ: ಲಿಕ್ವಿಡ್ ಕ್ರಿಸ್ಟಲ್ ಡಿಸ್ಪ್ಲೇಗಳು (LCD ಗಳು) ಮತ್ತು PDP ಗಳಂತಹ ಫ್ಲಾಟ್ ಪ್ಯಾನಲ್ ಡಿಸ್ಪ್ಲೇಗಳ ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾವನ್ನು ರಚಿಸಲು NF3 ಅನ್ನು ಇತರ ಅನಿಲಗಳೊಂದಿಗೆ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಫಲಕ ತಯಾರಿಕೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಶೇಖರಣೆ ಮತ್ತು ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಅವಶ್ಯಕವಾಗಿದೆ.
ಈ ವಸ್ತು/ಉತ್ಪನ್ನದ ಬಳಕೆಗಾಗಿ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ಗಳು ಮತ್ತು ನಿಯಮಗಳು ದೇಶ, ಉದ್ಯಮ ಮತ್ತು ಉದ್ದೇಶದಿಂದ ಬದಲಾಗಬಹುದು ಎಂಬುದನ್ನು ಗಮನಿಸಿ. ಯಾವುದೇ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ನಲ್ಲಿ ಈ ವಸ್ತು/ಉತ್ಪನ್ನವನ್ನು ಬಳಸುವ ಮೊದಲು ಯಾವಾಗಲೂ ಸುರಕ್ಷತಾ ಮಾರ್ಗಸೂಚಿಗಳನ್ನು ಅನುಸರಿಸಿ ಮತ್ತು ತಜ್ಞರನ್ನು ಸಂಪರ್ಕಿಸಿ.